一种新的电子散斑微小振动测量系统

• 作者: 乐开端 谭玉山 贾书海
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 电子散斑 微小振动 相移
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 329-332
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.1999.05.010

摘要

给出了一种新的电子散斑微小振动的振幅和相位测量系统,该系统将光学相移器和正弦相位调制器置于参考光路中,因而当被测物体改变时,系统勿需重新标定.采用高精度低压压电陶瓷作为光学相移器和正弦相位调制器,易于实现计算机直接控制,使系统具有很高的抗干扰能力.实验表明,该系统可以方便地对物体的微小振动(振幅小于30 nm)进行定量分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乐开端	西安交通大学激光与红外研究所	25	186	8.0	12.0
2	谭玉山	西安交通大学激光与红外研究所	77	1184	18.0	31.0
3	贾书海	西安交通大学激光与红外研究所	42	262	9.0	14.0