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摘要:
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石基底上氮化硼薄膜的场发射特性研究
氮化硼薄膜
场发射特性
磁控溅射
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的特性分析
来源期刊 航空学报 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 144
页数 4页 分类号
字数 434字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-6893.1999.02.014
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相关学者/机构
期刊影响力
航空学报
月刊
1000-6893
11-1929/V
大16开
北京市海淀区学院路37号
82-148
1965
chi
出版文献量(篇)
6543
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27
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