化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构

• 作者: 吴慧卓 憨勇
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 化学气相沉积 ZnS块材料 相结构
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.1999.02.002

摘要

用化学气相沉积法制备了红外晶体ZnS块材料;分别用XRD和TEM分析了所沉积ZnS的相结构,并用IR测试了其红外透过率.结果表明:在沉积温度为550～700℃,H2S/Zn摩尔流量比为0.5～20的条件下所沉积ZnS的相结构主要为闪锌矿结构;随着沉积温度的升高和H2S/Zn摩尔流量比的增大,ZnS中有纤锌矿结构出现且其含量增多,导致了ZnS红外透过率的降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴慧卓		15	27	3.0	5.0
2	憨勇		56	1174	19.0	31.0