用沟道离子注入法研制稀土硅化物

• 作者: 吴名枋 姚淑德 张勇 陈守元
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 沟道离子注入 稀土硅化物
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: O57
• 字数: 2129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.1999.02.002

摘要

用沟道离子注入法生成的稀土硅化物产物经背散射沟道分析、电镜分析和X射线衍射测试表明:它具有很好的结晶品质(ErSi1.7的χmin值可低到1.5%)和很高的相稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张勇		91	531	12.0	21.0
2	姚淑德		22	100	5.0	9.0
3	吴名枋		1	1	1.0	1.0
4	陈守元		1	1	1.0	1.0