电子注分析系统中三坐标精密工作台的设计与控制

• 作者: 张今朝 祝连庆 董明利
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子注分析系统 三坐标工作台 测量与控制
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 40-42
• 分类号: TG8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.1999.05.014

摘要

提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法,介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制.该方法可对电子注发射系统的结构参数、工作性能进行全面测量和分析,为超高频大功率电子器件的研制提供实验手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董明利		41	490	14.0	21.0
2	祝连庆		26	221	10.0	14.0
3	张今朝		1	1	1.0	1.0