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摘要:
简要介绍微机电系统在各个领域的应用.
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SOC
片上系统
MEMS
微机电系统
Smart Dust
智能微尘
微机电系统的发展与应用
MEMS
传感器
执行器
纳米技术
工艺
微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 微机电系统(MEMS)的应用
来源期刊 测控技术 学科 工学
关键词 微机电系统 微传感器和微执行器 电子鼻 微机械和微结构
年,卷(期) 1999,(1) 所属期刊栏目 专题报告--测控综合技术
研究方向 页码范围 13-15
页数 3页 分类号 TP3
字数 4533字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.01.004
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (8)
节点文献
引证文献  (28)
同被引文献  (16)
二级引证文献  (76)
1996(1)
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1997(2)
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1998(5)
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1999(0)
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2000(3)
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2001(4)
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  • 二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
微机电系统
微传感器和微执行器
电子鼻
微机械和微结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
测控技术
月刊
1000-8829
11-1764/TB
大16开
北京2351信箱《测控技术》杂志社
82-533
1980
chi
出版文献量(篇)
8430
总下载数(次)
24
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55628
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