高线性微机械差分电容式加速度计测量电路

• 作者: 李宝清 王渭源 陆德仁
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微差分电容 相敏解调 接口电路
• 年，卷（期）: 1999,（10）
• 所属期刊栏目: 专题报告--传感器技术及其应用
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.10.005

摘要

介绍了一种可用于微机械电容式加速度传感器的接口电路,该电路应用了开关型相敏解调电路,具有灵敏度高、线性好的特点,能测量微差分电容的变化.实验结果表明,该电路的线性高,测量微差分电容具有良好性能,是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路.应用该电路于最新开发成的微机械电容式加速度传感器,电路输出信号的非线性小于0.20%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝清	中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室	28	117	5.0	9.0
2	陆德仁	中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室	11	105	7.0	10.0
3	王渭源	中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室	8	125	7.0	8.0