应用纳米级金刚石抛光亚纳米级光滑表面

• 作者: 王建明 高宏刚
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 抛光 纳米 金刚石 超光滑
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 光学工艺及设备
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 2714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.05.013

摘要

用爆炸法合成的纳米级金刚石是一种新型纳米材料,其物理机械特性与普通亚微米级金刚石微粉有很大差别.我们使用这种材料配制的抛光液对YVO4晶体进行了超精密抛光的初步实验,获得了具有较低表面粗糙度(＜1 nm)的表面,发现了纳米金刚石作为抛光材料的独特之处.本文描述了实验结果,分析了抛光表面,并总结了纳米金刚石粉的抛光特性,提出了关于抛光中的材料去除过程的见解.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建明	中国科学院北京物理所	13	353	10.0	13.0
2	高宏刚	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	4	172	4.0	4.0