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文献信息
篇名 我国等离子体工艺研究进展
来源期刊 物理 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 388
页数 1页 分类号
字数 6027字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0379-4148.1999.07.002
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