热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响

• 作者: 尹洪峰 张立同 徐永东
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热解碳 沉积条件 沉积模式 丙烯
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 769-774
• 分类号: TQ127
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.011

摘要

以丙烯为源物质氩气为稀释气体,研究了沉积温度、丙烯流量、系统总压对沉积物形貌的影响. 利用晶体成核-生长理论解释了各种形貌的成因. 实验证明随着沉积温度的升高、系统总压的增大,热解碳的沉积由表面化学反应成核-生长模式向熔滴模式和气相成核-生长模式过渡. 沉积温度不同丙烯流量对沉积模式影响规律不同. 沉积模式随沉积条件的改变决定了热解碳沉积物形貌的改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立同	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	248	2867	24.0	42.0
2	徐永东	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	131	1982	23.0	37.0
3	尹洪峰	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	5	217	5.0	5.0