变间隔法实现三维形貌测量

• 作者: 于瀛洁 强锡富 李鹏生
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 外差干涉系统 三维形貌测量
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 651-653
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.1999.06.029

摘要

随着生产的发展,对许多工件提出了测量三维形貌的要求.本文提出了在较大光点间隔下实现小采样间隔三维形貌测量的方法.该方法可不改变测量系统光学结构,通过外加简单的装置改变光点间隔,从而实现小采样间隔的三维形貌测量.论文给出了相应的数学模型、测量步骤,并进行了误差分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李鹏生	哈尔滨工业大学机电学院	27	312	10.0	17.0
2	强锡富	哈尔滨工业大学机电学院	48	917	18.0	29.0
3	于瀛洁	哈尔滨工业大学机电学院	4	48	2.0	4.0