微机电系统及其测量问题

• 作者: 嵇钧生
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械 纳米技术 扫描探针显微镜 扫描X-射线干涉测量
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报告--测控综合技术
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 字数: 4554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.01.005

摘要

微机电系统是基于纳米技术迅速发展起来的新兴技术,在航空、航天、信息、军事、环境控制、医疗、生物工程学等领域有广泛应用.它的巨大潜力将给国家带来难以估量的经济效益和社会效益.本文简要介绍微机电系统技术及相关的测试和控制问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	嵇钧生		6	25	2.0	5.0