两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计

• 作者: 左铁钏 李呈德 陈涛
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 微加工 均束器 复眼
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 560-564
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.1999.06.019

摘要

介绍了一种两级复眼式均束器的设计.它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径,是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工的优良照明系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左铁钏	北京工业大学国家产学研激光加工技术中心	155	2041	26.0	36.0
2	陈涛	北京工业大学国家产学研激光加工技术中心	77	383	12.0	17.0
3	李呈德	北京工业大学国家产学研激光加工技术中心	4	78	3.0	4.0