微型机电系统技术及其21世纪应用展望

• 作者: 孙柏林
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机电系统 军事应用
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 7998字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.01.002

摘要

当前,人们在向宏观世界不断进军的同时,也在向微观世界发起冲击.人们不断地致力于微型装置的研究制造与开发利用.微米/纳米技术(micro/nanotechnology)以及在此基础上发展起来的微型机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)制造技术, 将有可能成为21世纪信息技术、测控技术与精确制导技术的核心技术之一.同时也必将给军事领域带来深刻的变革.