聚酰亚胺微型阀及其加工工艺

• 作者: 叶雄英 周兆英 张文栋 王晓浩
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型阀 光敏聚酰亚胺 型泵 型机械
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 136-139
• 页数: 4页
• 分类号: TH38
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.1999.02.006

摘要

在回顾微型阀发展并分析单晶硅微型阀和多晶硅微型阀加工工艺基础上,提出一种聚酰亚胺微型被动阀,分析聚酰亚胺的材料性能,设计微型阀结构和加工工艺流程,成功地制造出聚酰亚胺微型阀,测试该阀性能,讨论加工过程中的一些关键工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英		205	3706	31.0	54.0
2	叶雄英		62	1070	15.0	31.0
3	王晓浩	清华大学精密仪器与机械学系	69	765	13.0	25.0
4	张文栋		3	123	3.0	3.0