硅谐振压力微传感器开环自动测试技术

• 作者: 周浩敏 邢维巍
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅谐振微传感器 自动测试 同频干扰
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 专题报告--传感器技术及应用
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.03.004

摘要

鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是"微米"级,并且所要处理的信号最大仅为微伏量级,信噪比极低,因此在微传感器的开环测试中需要采取新的技术和测试方法.本文主要讨论了硅谐振压力微传感器开环测试中的自动测试以及同频干扰问题.