PI 电容湿度传感器的研制

• 作者: 吴正元 陈涛 陈萍丽
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺薄膜 电容式湿度传感器 集成电路光刻工艺
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.1999.04.017

摘要

采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺 (PI) 为介质膜,以铬、金为电极的电容式湿度传感器.给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理.测试结果表明:在相对湿度RH为0～96 % 范围内C～RH曲线线性度良好,灵敏度为RH 变化 1 %,电容变化 0.15～0.17 pF,该种湿度传感器的 RH长期稳定性为3 %/a.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正元	华中理工大学电子科学与技术系	3	47	3.0	3.0
2	陈涛	华中理工大学电子科学与技术系	3	79	3.0	3.0
3	陈萍丽	华中理工大学电子科学与技术系	1	18	1.0	1.0