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非晶含氢碳膜的氧等离子体刻蚀性能研究
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摘要：
推荐文章
等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
等离子体刻蚀
金刚石膜
进展
低温等离子体刻蚀和接枝对 芳纶纤维/环氧复合材料力学性能的影响
芳纶纤维
低温等离子体
接枝改性
复合材料
电机绝缘
等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究
感应耦合等离子体
干法刻蚀
硅
电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的工艺研究
电感耦合等离子体刻蚀
GaN
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物理学报
主办单位：
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1000-3290
CN：
11-1958/O4
开本：
大16开
出版地：
北京603信箱
邮发代号：
2-425
创刊时间：
1933
语种：
chi
出版文献量（篇）
23474
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