空间材料气相生长研究进展

• 作者: 王文魁 赵建华
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 工学
• 关键词: 微重力 气相生长 单晶 薄膜
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 225-235
• 页数: 11页
• 分类号: TB3
• 字数: 7468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.1999.03.001

摘要

气相生长是制备薄膜或晶体的一种重要手段,然而重力导致的浮力对流往往使得薄膜厚度和晶体成分分布不均匀,从而缺陷密度增加影响其质量. 利用空间的微重力条件可以抑制气相生长过程中重力引起的浮力对流,提高样品质量并改善其性能. 概述了近20多年来国外空间气相生长研究工作的进展状况. 着重介绍了国外空间气相生长研究的历史过程、研究的主要内容及所采取的研究手段,总结了关于空间气相生长的主要飞行结果,并对国外如何进行地面准备工作做了描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文魁	中国科学院物理研究所	50	369	11.0	17.0
3	赵建华	中国科学院物理研究所	68	886	17.0	27.0