硅各向异性腐蚀技术

• 作者: 吕平临 李敬文 王丰
• 来源期刊: 黑龙江商学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 硅各向异性腐蚀 硅杯结构 推广应用
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 计算机与自动化
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 4711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-0946.2000.02.005

摘要

论述了硅各向异性腐蚀技术在国内外的水平和发展趋势,攻关成果的推广应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李敬文		5	16	2.0	4.0
2	王丰	黑龙江商学院电子工程系	1	13	1.0	1.0
3	吕平临		1	13	1.0	1.0