扩展电阻技术在硅,硅基材料测试中的应用

• 作者: 吴晓虹 闵靖
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 硅基材料 扩展电阻技术 测试
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.12

摘要

本文利用扩展电阻技术对半导体硅、硅基材料进行测试分析 ,从而用以开发新材料和评估材料的质量。