薄膜沉积法制作菲涅耳透镜

• 作者: 卢振武 廖江红 李红军 翁志成
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光学元件 薄膜沉积 菲涅耳透镜,衍射效率
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1999字
• 语种: 中文

摘要

衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用.衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积.薄膜沉积法具有精确控制台阶高度及台阶表面较光滑的优点.使用薄膜沉积法制作16阶菲涅耳透镜,用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度.测量了菲涅耳透镜的衍射效率并分析产生误差的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李红军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	83	1136	19.0	29.0
2	卢振武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	93	1154	21.0	28.0
3	廖江红	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	11	165	7.0	11.0
4	翁志成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	22	439	13.0	20.0