隧道式加速度传感器的制备

• 作者: 陈德英
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 隧道式加速度传感器 扭摆式 非对称 工艺制备
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.06.002

摘要

隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度,介绍了扭摆-隧道式加速度传感器的工作原理,结构特点,关键工艺及工艺制备的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德英	东南大学微电子中心	7	61	6.0	7.0