sol-gel法制备KTN薄膜厚度及均匀性控制

• 作者: 王世敏 王龙海 罗英军 黄桂玉
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 钽铌酸钾薄膜 厚度控制 均匀性控制
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 分类号: TM282
• 字数: 2607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.02.003

摘要

利用干涉法、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等方法分析sol-gel法制备的KTN(钽铌酸钾)薄膜,详细分析讨论gel膜制备及热处理过程各因素对薄膜厚度及均匀性的影响.结果表明控制gel膜厚度及均匀性的关键是根据溶液黏度的变化及时调整匀胶转速、热处理过程中用低的升降温速度和通氧,整个工艺控制容易、重复性好.最终制出的薄膜为表面晶粒大小均匀、排列紧密、厚度一致、纯钙钛矿结构、高取向的KTN薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王龙海	湖北十堰大学电子工程系	2	3	1.0	1.0
2	罗英军	湖北十堰大学电子工程系	3	7	2.0	2.0
3	王世敏	湖北大学压电陶瓷技术研究所	83	860	14.0	26.0
4	黄桂玉	湖北大学压电陶瓷技术研究所	9	4	1.0	2.0