压电器件在微位移系统中的应用

• 作者: 刘国栋 杨晓新 浦昭邦 赵辉
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电 微位移 测量 控制
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 244-245,252
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 1601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.04.011

摘要

提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法,可在10 μm内实现0.01 μm的微动分辨力.该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中,达到了满意的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦昭邦	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	108	1776	24.0	36.0
2	赵辉	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	42	514	12.0	21.0
3	刘国栋	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	79	1002	15.0	28.0
4	杨晓新	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	1	30	1.0	1.0