悬臂梁式微型阀的启动和过流特性

• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 微型机械 尺寸效应 表面张力 流动
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 字数: 3598字
• 语种: 中文

摘要

本文分析了各种力的尺寸效应及表面张力对悬臂梁式微型阀启动的影响，得到了阀的开启压力，分析了微型阀的静态和动态过流特性，分别得到了阀的静态压差-流量曲线,当阀片两侧的压差随时间变化时，阀片的启闭与压差的变化之间存在一定的相位差，有可能引起泄漏甚至反向流动.