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软紫外光压印光刻的模具制造研究
光刻胶
母版材料
软模具
聚合物表面紫外光接枝技术及应用进展
聚合物
表面光接枝
紫外光
空间紫外光学遥感技术与发展趋势
紫外遥感
空间遥感
大气成分
综述
紫外光谱法海水硝酸盐原位检测技术研究进展
海洋光学传感器
海洋化学传感器
紫外光谱法
硝酸盐
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 远紫外光刻技术的发展趋势及进展
来源期刊 光机电信息 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2000,(12) 所属期刊栏目 综合述评
研究方向 页码范围 8-11
页数 4页 分类号 TN2
字数 2492字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1007-1180.2000.12.002
五维指标
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2006(1)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光机电信息
月刊
1007-1180
22-1250/TH
大16开
吉林省长春市
12-171
1958
chi
出版文献量(篇)
2287
总下载数(次)
1
总被引数(次)
7000
论文1v1指导