ZrO2-SiO2膜的制备和结构研究

• 作者: 张育林 胡英 郑昌琼 黄永前
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: ZrO2-SiO2膜 溶胶-凝胶 制备 结构 热稳定性
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 204-206
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174.758.11
• 字数: 2859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2000.02.035

摘要

以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,用溶胶-凝胶法制备了无支撑ZrO2-SiO2膜.应用DTA-TG、XRD、SEM和BET 等测试技术对无支撑ZrO2-SiO2膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征,结果表明ZrO2-SiO2凝胶膜虽在467℃开始出现少量单斜ZrO2,但在500℃和1200℃热处理后的主晶相均为四方 ZrO2,显然SiO2的存在阻碍了四方相ZrO2向单斜相ZrO2转变的过程,ZrO2-SiO2膜具有比ZrO2膜更高的热稳定性,在950℃烧结的无支撑ZrO2-SiO2膜孔径稍呈双峰分布,其最可几孔径为3.35nm.