结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究

• 作者: 张阳 朱鹤孙 杨宁 陈光华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: β-C3N4薄膜 化学汽相沉积 电子回旋共振等离子体 薄膜结构
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 224-228
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.003

摘要

用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积(ECR CVD)法, 在单晶硅(100)衬底上沉积生长出了具有{221}结构特性的连续的结晶态β-C3N4薄膜.使用扫描电镜(SEM)观测了沉积薄膜的形态;采用X射线光电子光谱(XPS),X射线衍射(XRD)和拉曼散射表征薄膜的结构.研究表明,沉积结晶态β- C3N4薄膜具有{221}结构特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张阳	北京理工大学材料科学研究中心	6	59	4.0	6.0
2	朱鹤孙	北京理工大学材料科学研究中心	81	1121	19.0	28.0
3	陈光华	北京工业大学材料科学与工程学院	65	396	11.0	16.0
4	杨宁	北京工业大学材料科学与工程学院	5	54	3.0	5.0