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摘要:
用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积(ECR CVD)法, 在单晶硅(100)衬底上沉积生长出了具有{221}结构特性的连续的结晶态β-C3N4薄膜.使用扫描电镜(SEM)观测了沉积薄膜的形态;采用X射线光电子光谱(XPS),X射线衍射(XRD)和拉曼散射表征薄膜的结构.研究表明,沉积结晶态β- C3N4薄膜具有{221}结构特性.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究
来源期刊 人工晶体学报 学科 物理学
关键词 β-C3N4薄膜 化学汽相沉积 电子回旋共振等离子体 薄膜结构
年,卷(期) 2000,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 224-228
页数 5页 分类号 O484.1
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.003
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张阳 北京理工大学材料科学研究中心 6 59 4.0 6.0
2 朱鹤孙 北京理工大学材料科学研究中心 81 1121 19.0 28.0
3 陈光华 北京工业大学材料科学与工程学院 65 396 11.0 16.0
4 杨宁 北京工业大学材料科学与工程学院 5 54 3.0 5.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
β-C3N4薄膜
化学汽相沉积
电子回旋共振等离子体
薄膜结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
相关基金
北京市自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Beijing Province
官方网址:http://210.76.125.39/zrjjh/zrjj/
项目类型:重大项目
学科类型:
论文1v1指导