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结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究
结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究
作者:
张阳
朱鹤孙
杨宁
陈光华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
β-C3N4薄膜
化学汽相沉积
电子回旋共振等离子体
薄膜结构
摘要:
用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积(ECR CVD)法, 在单晶硅(100)衬底上沉积生长出了具有{221}结构特性的连续的结晶态β-C3N4薄膜.使用扫描电镜(SEM)观测了沉积薄膜的形态;采用X射线光电子光谱(XPS),X射线衍射(XRD)和拉曼散射表征薄膜的结构.研究表明,沉积结晶态β- C3N4薄膜具有{221}结构特性.
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X射线衍射
扫描电镜
硬度
爆炸冲击合成多晶C3N4的研究
冲击波
合成
多晶
C3N4
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
β-C3N4薄膜
化学汽相沉积
电子回旋共振等离子体
薄膜结构
年,卷(期)
2000,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
224-228
页数
5页
分类号
O484.1
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张阳
北京理工大学材料科学研究中心
6
59
4.0
6.0
2
朱鹤孙
北京理工大学材料科学研究中心
81
1121
19.0
28.0
3
陈光华
北京工业大学材料科学与工程学院
65
396
11.0
16.0
4
杨宁
北京工业大学材料科学与工程学院
5
54
3.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
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参考文献
(0)
节点文献
引证文献
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同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
2000(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
β-C3N4薄膜
化学汽相沉积
电子回旋共振等离子体
薄膜结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
相关基金
北京市自然科学基金
英文译名:
Natural Science Foundation of Beijing Province
官方网址:
http://210.76.125.39/zrjjh/zrjj/
项目类型:
重大项目
学科类型:
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