溶胶-凝胶法制备V2O5薄膜的气敏特性研究

• 作者: 何秀丽 吴元大 戴国瑞 童茂松 薛辉 高鼎三
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 V2O5薄膜 气体传感器
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 225-229
• 页数: 5页
• 分类号: TP21
• 字数: 1929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2000.03.013

摘要

本文研究了用无机溶胶凝胶法制备的V2O5薄膜的XRD结果及其气敏特性.凝胶在400 C下烧结12 h后完全形成了V2O5晶体.掺3 wt%Pd+1 wt%Au的V2Os薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度.加热电压为5.5 V时灵敏度达到最大值.该气敏薄膜具有较好的选择性,NH3、H2、CO、CH3COCH3等气体不干扰元件的测量.元件的响应时间为15 s,恢复时间为5 s.