沉积温度对硬质合金金刚石涂层附着力影响的研究

• 作者: 吕反修 唐伟忠 王四根 王强 贾晔
• 来源期刊: 金属热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石涂层 硬质合金工具 附着力
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 6-12
• 页数: 7页
• 分类号: TG1
• 字数: 3335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2000.04.002

摘要

采用压痕实验、扫描电镜与激光Raman光谱分析,实验研究了酸浸硬质合金基底上金刚石涂层的附着力随沉积温度的变化.结果表明,涂层质量随沉积温度降低而显著恶化,涂层应力则随沉积温度提高而上升.从提高涂层附着力的角度考虑,存在一个最佳沉积温度.在较低的沉积温度下,涂层自身的质量较低、力学性能较差,在载荷作用下易于破坏.提高沉积温度,涂层自身的质量可得到改善,但基底中的钴向基底表面扩散的倾向加大,而且热应力增大,会严重降低涂层与基底的附着力.除硬质合金基底的预处理工艺外,沉积工艺对金刚石涂层的组织、性能以及附着力均有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	王强	北京科技大学材料科学与工程学院	27	153	7.0	11.0
4	王四根	北京科技大学材料科学与工程学院	5	34	4.0	5.0