微型机电系统与微细加工技术

• 作者: 张晓征 迟向磊
• 来源期刊: 北京机电通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机电系统 微机械 微细加工
• 年，卷（期）: 2000,（27）
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TH－39

摘要

本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域－微型机电系统的产生、发展和应用前景，这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势，例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统密切相关的微细加工技术在本文中有详细的介绍，以硅加工和LIGA技术为例，本文比较了微细加工技术之间的特点和各自的应用范围，最后说明微型机电系统有广阔的发展前途。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓征		1	0	0.0	0.0
2	迟向磊		5	58	3.0	5.0