薄层方块电阻自动测量法

• 作者: 张军琴 顾瑛
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄层方块电阻 IEEE-488接口 自动测量
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TM93
• 字数: 1941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2000.02.001

摘要

文中给出了一种由配有IEEE-488接口的恒流源、电压表、开关矩阵和计算机组建自动测量系统的方法.利用该系统可以方便地测得薄层方块电阻.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张军琴	西安电子科技大学微电子研究所	8	36	4.0	6.0
2	顾瑛	西安电子科技大学微电子研究所	2	7	1.0	2.0