硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算

• 作者: 刘君华 刘月明 张少君
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械谐振传感器 热激励 热挠曲 谐振频率
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 132-134
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2000.02.016

摘要

分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化,建立了相应的数学模型,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计.同时通过算例和测试数据的对比,验证了谐振频率计算模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电气工程学院	224	3216	28.0	45.0
2	刘月明	西安交通大学电气工程学院	7	41	3.0	6.0
3	张少君		16	86	5.0	9.0