厚膜型气敏器件膜厚影响气体检测灵敏度的研究

• 作者: 傅军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏器件 膜厚 灵敏度 丝网印刷
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 器件研究与制造
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TN307
• 字数: 2388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.02.007

摘要

利用化学沉淀法制备SnO2纳米材料,再利用平面丝网印刷技术制备不同膜厚的SnO2厚膜型气敏器件试样,测量不同厚膜气敏器件试样对甲烷气体检测灵敏度和阻温曲线,并进行复阻抗分析.实验表明试样膜厚对检测灵敏度的影响是明显的,试样膜厚在53μm左右对甲烷气体有最大灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅军	海南师范学院物理系	44	137	6.0	10.0