0.1μm大行程精密定位控制系统的研究

• 作者: 戴旭涵 杨国光 沈亦兵 米凤文
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 精密工作台 精密定位控制
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 89-91,94
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 1920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.026

摘要

本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统.本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测.本系统工作行程50mm,定位精度±0.1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
2	沈亦兵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	40	431	10.0	19.0
3	米凤文	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	5	120	5.0	5.0
4	戴旭涵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	97	3.0	3.0