溶胶-凝胶制备二氧化硅薄膜的开裂问题研究

• 作者: 吴召平 方平安
• 来源期刊: 玻璃与搪瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶 开裂
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与实验报告
• 页码范围: 14-19,13
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.73+9
• 字数: 4052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2871.2000.03.002

摘要

为制备微晶玻璃增强用二氧化硅薄膜,采用溶胶-凝胶工艺(SOL-GEL)在普通钠钙硅玻璃基片上做了预试,对过程中薄膜的开裂问题进行了详细的分析和研究.结果表明:溶胶的组成与凝胶干燥和热处理过程中的应力不均是开裂的主要原因.借助差热分析(DTA)、红外吸收光谱分析(IR)、高倍光学显微镜等分析测试手段,通过调整原料配比、控制干燥过程的相对湿度和调节热处理过程中的升温速率,较好地解决了膜面开裂问题,获得了表面均匀不开裂的二氧化硅薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方平安	中国科学院上海硅酸盐研究所	6	145	4.0	6.0
2	吴召平	中国科学院上海硅酸盐研究所	10	235	7.0	10.0