[100]定向织构生长金刚石薄膜的红外光学性能研究

• 作者: 夏义本 居建华 戴文琦 王林军 王鸿
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 微波等离子化学气相沉积 织构生长 红外特性
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 229-233
• 页数: 5页
• 分类号: O484.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.004

摘要

采用微波等离子增强化学气相沉积法在(100)镜面抛光的硅片衬底上实现了金刚石薄片[100]定向织构生长.并用扫描电子显微镜、拉曼散射和傅立叶红外光谱仪分析测试了不同工艺得到的金刚石薄片的表面形貌、组成结构和红外性能.结果表明:负偏压辅助定向成核和氢的等离子刻蚀不仅促进了金刚石薄膜的定向织构生长,而且还能刻蚀成核期的非金刚石成分.从而提高了金刚石薄片的红外光透过特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
3	居建华	上海大学材料科学与工程学院	28	114	7.0	9.0
4	戴文琦	上海大学材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0
5	王鸿	上海大学材料科学与工程学院	5	16	3.0	3.0