位相型单缝衍射因子的实验研究

• 作者: 周进 封余军 李伟 谈苏庆
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 二元光学 单元结构 衍射因子 微电子技术
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 79-80,66
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2000.02.010

摘要

对二元光学元件单元结构的衍射因子进行了实验研究.用微电子技术制作了位相台阶数分别为2、3、4、8等几种结构的单元,对其衍射光强分布进行实验测量,用光电池将光信号转换为电信号,由x-y记录仪测试出其光强分布曲线,实验结果与理论分析一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周进	南京大学物理系	60	427	11.0	17.0
2	李伟	南京大学物理系	61	167	6.0	10.0
3	封余军	南京大学物理系	3	2	1.0	1.0
4	谈苏庆		1	1	1.0	1.0