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湿法腐蚀制备 GaN LED 蓝宝石图形衬底的工艺方法研究
蓝宝石图形衬底
湿法腐蚀
腐蚀速率
GaN L ED
AIN/蓝宝石模板上生长的GaN研究
氮化镓
氮化铝
金属有机物化学气相外延
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 GaN缓冲层生长速度对蓝宝石基片上GaN特性的影响
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 氮化镓 缓冲层 生长速度 蓝宝石
年,卷(期) 2000,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 14-15
页数 2页 分类号 TN304.23
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研究主题发展历程
节点文献
氮化镓
缓冲层
生长速度
蓝宝石
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
出版文献量(篇)
576
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