ANSYS在VLSI互连模拟中的应用

• 作者: Reinhard Streiter Thomas Gessner Thomas Otto 宋任儒 梁庆龙 阮刚
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超大规模集成电路 互连模拟 ANSYS模拟程序
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 器件开发与应用
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TN47
• 字数: 2077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.017

摘要

介绍了ANSYS程序在VLSI互连几何最佳化设计中的初步应用.应用表明:ANSYS的模拟精度高,图形显示功能强.应用ANSYS自动寻优功能使RC延迟最佳化几何参数的寻找较为迅速和直观.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阮刚	复旦大学微电子研究所专用集成电路与系统国家重点实验室	15	116	6.0	10.0
2	梁庆龙	Chemnitz技术大学微工艺中心	1	6	1.0	1.0
3	Reinhard Streiter	Chemnitz技术大学微工艺中心	3	23	3.0	3.0
4	宋任儒	复旦大学微电子研究所专用集成电路与系统国家重点实验室	5	25	3.0	5.0
5	Thomas Otto	Chemnitz技术大学微工艺中心	3	23	3.0	3.0
6	Thomas Gessner	Chemnitz技术大学微工艺中心	3	23	3.0	3.0