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摘要:
本文通过实验证实了冷等离子体对硅-锗粉末的纯化作用,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响.从而为工业应用打下一定基础.
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文献信息
篇名 冷等离子体对硅-锗纯化的实验研究
来源期刊 广西工学院学报 学科 工学
关键词 硅-锗纯化 冷等离子体 表面反应
年,卷(期) 2000,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 26-28,32
页数 4页 分类号 TF132
字数 2135字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-6410.2000.04.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈文辉 广西工学院电子信息与控制工程系 52 268 10.0 12.0
2 苏庆平 成都理工学院应用化学系 44 406 12.0 18.0
3 王敬义 华中理工大学电子科学与技术系 8 43 5.0 6.0
4 陶甫廷 广西工学院电子信息与控制工程系 17 58 5.0 5.0
5 张巍 广西工学院电子信息与控制工程系 8 39 4.0 6.0
6 冯信华 华中理工大学电子科学与技术系 7 34 4.0 5.0
7 陶臻宇 广西工学院电子信息与控制工程系 3 11 2.0 3.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
硅-锗纯化
冷等离子体
表面反应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
广西科技大学学报
季刊
1004-6410
45-1395/T
大16开
广西柳州市东环路268号
1990
chi
出版文献量(篇)
1943
总下载数(次)
0
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