冷等离子体对硅-锗纯化的实验研究

• 作者: 何笑明 冯信华 张巍 王敬义 苏庆平 陈文辉 陶甫廷 陶臻宇
• 来源期刊: 广西工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅-锗纯化 冷等离子体 表面反应
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 26-28,32
• 页数: 4页
• 分类号: TF132
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6410.2000.04.008

摘要

本文通过实验证实了冷等离子体对硅-锗粉末的纯化作用,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响.从而为工业应用打下一定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文辉	广西工学院电子信息与控制工程系	52	268	10.0	12.0
2	苏庆平	成都理工学院应用化学系	44	406	12.0	18.0
3	王敬义	华中理工大学电子科学与技术系	8	43	5.0	6.0
4	陶甫廷	广西工学院电子信息与控制工程系	17	58	5.0	5.0
5	张巍	广西工学院电子信息与控制工程系	8	39	4.0	6.0
6	冯信华	华中理工大学电子科学与技术系	7	34	4.0	5.0
7	陶臻宇	广西工学院电子信息与控制工程系	3	11	2.0	3.0