热驱动薄膜式微型泵性能的初步分析

• 作者: 尹执中 胡桅林 过增元
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型泵 温度场 热应变
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 132-134,138
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 2432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.02.007

摘要

对热驱动微型泵的关键部件--铝-硅复合膜片进行了数值计算和分析.发现存在一个合适的交变加热频率范围,使单位时间泵腔体积变化量达到最大;铝膜形状取为圆形比环形有利于得到更大的泵腔变形体积.减薄硅膜厚度和增加铝膜的厚度也能增大泵腔体积变化量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过增元	清华大学工程力学系	149	3472	29.0	55.0
2	胡桅林	清华大学工程力学系	24	206	7.0	14.0
3	尹执中	清华大学工程力学系	6	168	6.0	6.0