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SiO2薄膜
相分离
超疏水
接触角
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用射频辉光放电制备高电导非掺μc—SiO:H薄膜
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 射频辉光放电 高电导 微晶硅薄膜
年,卷(期) 2000,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5
页数 1页 分类号 TN304.055
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射频辉光放电
高电导
微晶硅薄膜
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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