4-4BS型扫描电镜故障分析与处理

• 作者: 庄同信 赵明
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 扫描电镜 真空系统 扫描电路 高压电源 水冷系统
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器维修
• 页码范围: 48-49,45
• 页数: 3页
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2000.02.015

摘要

本文概述了4-4BS扫描电镜的几例故障分析及排除方法,例如真空系统、扫描电路、电压电源、水冷系统等部分故障.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄同信	哈尔滨汽轮机厂中央材料试验究所	7	40	3.0	6.0
2	赵明	哈尔滨汽轮机厂中央材料试验究所	2	3	1.0	1.0