射频放电电参数的测量

• 作者: D.Teuner 余建华 黄建军
• 来源期刊: 电测与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: (■)放电 电压 电流 相位角
• 年，卷（期）: 2000,（9）
• 所属期刊栏目: 测量技术与方法
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2682字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1390.2000.09.006

摘要

通过自行研制的传感器,结合网络分析理论,采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流、相位及功率的测量,除可广泛应用于射频放电的电压、电流、相位及功率测量外,还可对射频放电负载特性及等离子体的伏安特性进行研究与分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄建军	深圳大学理学院实验中心	65	679	16.0	24.0
2	余建华	深圳大学光电子系	28	192	9.0	13.0