单晶区熔生长实验灵境仿真系统的研制

• 作者: 闫浩 鲁士文
• 来源期刊: 计算机仿真
• 学科: 工学
• 关键词: 仿真 遥操作 晶体生长
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 应用与研究
• 页码范围: 59-62
• 页数: 7页
• 分类号: TP3
• 字数: 3342字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9348.2000.04.017

摘要

半导体单晶区熔生长实验灵境仿真系统是遥科学系统中的一个子系统.它通过对半导体单晶区熔生长实验的仿真,为载荷专家(简称PI)提供虚拟的闭环实验进程通路,并可被用来设想性地响应各种操作对整个实验进程的影响.在此系统中,他们提出了一个升温曲线可调节的、可遥操作的仿真模型,并利用OpenGL实现了实验场景和实验对象的3维可视化,使得PI可以通过网络远程采集仿真实验的数据、调节实验参数.该文介绍了此系统仿真方法、实现的功能以及所采用的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁士文	中国科学院计算技术研究所	74	658	13.0	22.0
2	闫浩	中国科学院计算技术研究所	3	1	1.0	1.0