垂直入射Si0.7Ge0.3/Si多量子阱光电探测器

• 作者: 主红杰 余金中 成步文 李成 杨沁清 王启明 罗丽萍
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测器 多量子阱 SiGe/SiPACC:0762 4280S
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 480-482
• 页数: 3页
• 分类号: TN215
• 字数: 1301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.05.013

摘要

报道了正入射Si0.7Ge0.3/Si多量子阱结构光电探测器的制作和实验结果.测试了它的光电流谱和量子效率.探测器的响应波长扩展到了1.3μm以上波段.在1.3μm处量子效率为0.1%.量子效率峰值在0.95μm处达到20%.