新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究

• 作者: 朱长纯 邓宁
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子 Spindt阴极 磁敏传感器
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TP212

摘要

提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Ｓｐｉｎｄｔ阴极阵列作为电子源，阳极分为五个区域，以便检测发射电子在磁场作用下的偏移。通过不同阴极电压下电子束流的偏移量的国赤出器件所在位置磁场的三个分量。对传感器的灵敏度和误差进行了模拟计算，并研究了它们与阳极电压、阴－阳极间距及阳极电压变化步长的关系。结果表明该传感器的灵敏度约为８００％，相对误差为３％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱长纯	西安交通大学电信学院真空微电子研究所	215	2372	22.0	41.0
2	邓宁	西安交通大学电信学院真空微电子研究所	4	47	2.0	4.0