GaAs半导体薄膜电沉积的研究

• 作者: 叶水驰 徐吾生 杨兆明 杨春晖 韩岩 韩爱珍 高元凯
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs薄膜 电沉积 添加剂
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 110-113
• 页数: 4页
• 分类号: TK51
• 字数: 1433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2000.01.020

摘要

利用改进试验装置,及在简单盐溶液中加入添加剂的方法,电沉积制备出GaAs薄膜.扫描电镜和X射线衍射仪测试结果表明,薄膜成分更接近化学计量比1:1,各次试验数值分散性小,厚薄均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨春晖	哈尔滨工业大学应用化学系	59	300	9.0	14.0
2	叶水驰	哈尔滨工业大学航天学院	8	12	3.0	3.0
3	韩爱珍	哈尔滨工业大学航天学院	9	12	2.0	2.0
4	高元凯	哈尔滨工业大学航天学院	3	4	2.0	2.0
5	杨兆明	哈尔滨工业大学应用化学系	2	4	2.0	2.0
6	徐吾生	哈尔滨工业大学应用化学系	1	2	1.0	1.0
7	韩岩	哈尔滨工业大学应用化学系	1	2	1.0	1.0